顺配宝配资普达特科技获得一台半导体高温硫酸清洗设备的样机订单

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　　普达特科技（00650）发布公告，公司已从一个客户处获得一台半导体高温硫酸清洗（高温SPM）设备（该设备）的样机订单。该设备目前已处于组装与测试阶段，前期已通过客户的多项工艺性能测试与马拉松测试，部分指标达到国际领先水平，显著推进了国产高温SPM清洗设备打破海外垄断的进程。该样机订单的收入暂未确认。据董事经作出一切合理查询后所深知、尽悉及确信，于本公告日期，该客户及其最终实益拥有人为独立于公司及其关连人士的第三方。

　　该设备采用高温SPM清洗工艺，可覆盖12英寸晶圆关键制程的PR-strip、Post CMP、NiPt remove等多种应用，是业界公认的高难度湿法工艺，市场目前由海外设备供应商垄断。公司研发的该设备，具备国内领先、国际一流的高温控制能力，可覆盖至190°C的高温SPM工艺，经马拉松验证，终端工艺腔体高温硫酸温控范围±2°C，优于主要海外供应商的±5°C。该设备通过NiPt remove工艺demo测试，在高挑战性的工况下取得了与国际基准产品对齐的测试结果。该设备在设计方面，采用了化学供液系统与工艺腔室集成化的设计，保证了更大的工艺兼容性与灵活的应用配置，可为客户提供更具综合竞争力与性价比的解决方案。

　　下一阶段，公司将致力于完成该设备的交付与验证，并扩大客户在高端应用领域对集团的设备的采用，充分发挥公司技术团队在半导体湿法技术方面的优势，解决行业痛点，提高客户效率，继续推动高端半导体设备国产化。